

双级油旋片真空泵(Two-Stage Oil Rotary Vane Vacuum Pump)
双级油旋片真空泵采用两级串联压缩结构,通过一级预抽与二级深抽的协同方式,可获得更高的极限真空度与更稳定的抽气性能。适用于对真空度要求更高、运行更稳定的工业与科研环境,是高真空系统的理想前级泵。
双级结构实现更深的极限真空,可稳定达到
10⁻¹~10⁻² Pa 级,满足精密工艺需求。
在低压力段仍保持高抽速,抽空时间明显缩短,提升生产效率。
适合于真空干燥、脱水、脱气等含水工况。
优化的动平衡与密封结构,让泵在高性能输出下仍然保持安静与低振动。
耐磨部件及油封结构使泵可长期稳定运行,适合连续生产线。
光学镀膜和薄膜沉积
分析仪器:质谱、电子显微镜
真空干燥、脱水、脱气
电子制造与半导体工艺
科研实验设备前级真空
真空冶金与材料处理
2XZ系列双级旋片真空泵参数表

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