
双级油旋片真空泵(Two-Stage Oil Rotary Vane Vacuum Pump)
双级油旋片真空泵采用两级串联压缩结构,通过一级预抽与二级深抽的协同方式,可获得更高的极限真空度与更稳定的抽气性能。适用于对真空度要求更高、运行更稳定的工业与科研环境,是高真空系统的理想前级泵。
双级结构实现更深的极限真空,可稳定达到
10⁻¹~10⁻² Pa 级,满足精密工艺需求。
在低压力段仍保持高抽速,抽空时间明显缩短,提升生产效率。
适合于真空干燥、脱水、脱气等含水工况。
优化的动平衡与密封结构,让泵在高性能输出下仍然保持安静与低振动。
耐磨部件及油封结构使泵可长期稳定运行,适合连续生产线。
光学镀膜和薄膜沉积
分析仪器:质谱、电子显微镜
真空干燥、脱水、脱气
电子制造与半导体工艺
科研实验设备前级真空
真空冶金与材料处理
以下为常见 2XZ 系列双级油旋片泵的示例参数,可根据你们自家产品型号进行调整:
| 参数 | 单位 | 2XZ-1 | 2XZ-2 | 2XZ-4 | 2XZ-8 | 2XZ-15 |
|---|---|---|---|---|---|---|
| 抽气速率 | L/s | 1 | 2 | 4 | 8 | 15 |
| 极限压力(气镇关) | Pa | 0.1 | 0.1 | 0.1 | 0.1 | 0.1 |
| 极限压力(气镇开) | Pa | 3 | 3 | 3 | 3 | 3 |
| 电机功率 | kW | 0.25 | 0.37 | 0.55 | 1.1 | 2.2 |
| 进气口尺寸 | — | KF16 | KF25 | KF25 | KF40 | KF40 |
| 泵油容量 | L | 0.5 | 0.7 | 1.0 | 1.6 | 3.5 |
| 噪音级 | dB(A) | ≤60 | ≤62 | ≤65 | ≤68 | ≤70 |
| 重量 | kg | 18 | 25 | 32 | 55 | 85 |
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